Habka Kala-soocidda Uumiga ee Plasma-ilaa-Kimikada (PECVD), isku xidh kasta oo koronto, laga bilaabo gudbinta awoodda RF ilaa xakamaynta gaaska, si toos ah ayuu u saameeyaa isku-dhafka dhigista filimka khafiifka ah iyo wax-soo-saarka jajabka. Iyadoo la wajahayo jawiga adag ee qalabka yar yar, faakiyuum sare, iyo faragelin koronto oo xooggan,WAGOXidhiidhiyayaasha picoMAX®, oo leh saddexdooda faa'iido ee ugu muhiimsan ee "isku-dhafka, isku halaynta, iyo hufnaanta," ayaa noqday xalka ugu habboon ee isku xidhka nidaamyada PECVD.
Naqshad Cusbooneysiin ah oo Cusub
La qabsiga Qaababka Qolka Sax ah
Booska gudaha ee qalabka PECVD waa mid xaddidan, taasoo u baahan habayn cufan oo koronto, calaamad, iyo khadadka dareemayaasha ah oo ku wareegsan qolka falcelinta. picoMAX® waxay isticmaashaa naqshad hal-guri ah, oo laba-jibaaran, oo leh meelo badan oo biin ah oo 3.5/5.0/7.5mm ah oo la heli karo. Ka dib marka la isku daro, waxay ku jirtaa 30% boos ka yar alaabtii hore, iyadoo si fiican ula qabsanaysa shuruudaha fiilooyinka ku wareegsan qolka. Xidhiidhiyaha nooca godka ah wuxuu ku dhowaad gebi ahaanba ku dhex jiraa madaxa biinka, isagoo taageeraya isu-imaatinka dhinac-dhinac iyada oo aan lumin tiirarka, si weyn ayuu u hagaajiyaa isticmaalka guddiga wareegga wuxuuna u oggolaanayaa habaynta nidaamsan ee khadadka calaamadda iyo korontada iyada oo aan faragelinayn goobta socodka gaaska habka.
Ilaalin Adag oo Ka Dhanka ah Xaaladaha Hawlgalka ee Ba'an
Hawsha PECVD waxay ku lug leedahay faakiyuum sare, balaasma-soo-noqoshada sare, iyo jawi gariir, taasoo shuruudo adag saaraysa isku-xidhka. picoMAX® waxay leedahay qaab-dhismeed deggan oo leh iska caabin gariir ilaa 12g ah, taasoo ka hortagaysa dabacsanaanta xiriirka oo ay keento gariirka soo-noqoshada sare. Waxa kale oo ay ku jirtaa naqshad ka hortagta khaladaadka rakibidda iyo qalabka qufulka, iyadoo meesha ka saaraysa khaladaadka rakibidda iyo ka hortagga kala-goynta shilalka, iyadoo hubinaysa hawlgalka joogtada ah ee qalabka iyada oo aan la helin waqti go'an.
Xidhiidh Degdeg ah oo aan Qalab lahayn
picoMAX® waxay leedahay tiknoolajiyad isku-xir degdeg ah oo aan qalab lahayn, taasoo u oggolaanaysa isku-xiryada "xir-iyo-qabasho" ee labada fiilooyin ee hal-xadhig iyo kuwa badan leh oo leh isku-xirayaal qabow lagu cadaadiyay. Xidhiidhada isku-xidhka adag waxaa lagu dhammeeyaa hal tallaabo, taasoo si weyn u hagaajinaysa hufnaanta isu-imaatinka iyo gaabinaysa wareegyada khaladaadka. Naqshadaynta qaab-dhismeedka ayaa la jaanqaadaysa hababka alxanka dib-u-socodka, iyadoo daboolaysa baahiyaha dhimista kharashka ee wax soo saarka otomaatiga ah. Waxay sidoo kale daboolaysaa dhammaan xaaladaha isku xirka PECVD: 3.5mm biin ayaa qaabilaysa fiilooyinka calaamadda 0.2-1.5mm², halka 5.0/7.5mm biin ay taageerto khadadka korontada 16A. Waxay taageertaa hababka rakibidda silig-ilaa-sariirta iyo derbiga dhex mara, waxay la jaanqaadaysaa kabadhada xakamaynta iyo fiilooyinka godka, waxayna u hoggaansantaa heerarka badbaadada korantada ee GB/T 5226.1, iyadoo dhisaysa difaac adag oo loogu talagalay xasilloonida habka.
Warshadaha semiconductor-ka, halkaas oo saxnaanta habka heerka nanometer-ka ay tahay tan ugu muhiimsan, isku xirnaanta la isku halleyn karo ayaa ah dammaanadda wax soo saar sare.WAGOPicoMAX®, oo leh fikradeeda naqshadaynta badeecadaha kacaanka ah, waxay gaartaa "cabbirka yar, waxqabadka sare" oo ku jira raad yar, iyadoo bixinaysa xalal isku xidh oo deggan, hufan, iyo waara oo loogu talagalay qalabka PECVD. Tani waxay ka caawisaa soosaarayaasha semiconductor-ka inay ka gudbaan caqabadaha isku xirka habka saxda ah, iyagoo ilaalinaya saxnaanta heerka micrometer-ka ee jajab kasta.
Waqtiga boostada: Maarso-13-2026